เทอร์โมคัปเปิล BF หลายจุดหลัก

คำอธิบายผลิตภัณฑ์

เตาหลอมออกซิเดชั่นเป็นอุปกรณ์กระบวนการสำคัญสำหรับการผลิตเซลล์ PV มันผสมและกระจายปริมาณของโบรอนฟอสฟอรัสและองค์ประกอบอื่น ๆ บนเวเฟอร์ซิลิคอนที่อุณหภูมิสูงเพื่อเตรียมการแยก PN และประกอบด้วยวงจรรวมจากมัน นอกจากนี้ยังสามารถใช้ในการเตรียมฟิล์ม Siox บนพื้นผิวของเวเฟอร์ซิลิคอนเพื่อปกป้องเวเฟอร์

เป็นเรื่องปกติที่จะใช้เทอร์โมคับเปิลที่วัดทั้งส่วนด้านในและด้านนอกของเตาเพื่อควบคุมอุณหภูมิภายในของเตาเผาที่สามารถดำเนินการออกซิเดชันได้ แต่ละเขตอุณหภูมิที่ระบุมีเทอร์โมคัปเปิลด้านนอกและด้านในเพื่อให้แน่ใจว่าผลลัพธ์การวัดนั้นเชื่อถือได้ เทอร์โมคัปเปิลด้านในใช้ในการวัดอุณหภูมิเวเฟอร์โดยทั่วไปจะมีจุดวัด 3 ~ 9 ซึ่งแสดงถึงอุณหภูมิเวเฟอร์อย่างแม่นยำ เทอร์โมคัปเปิลด้านนอกใช้ในการรับรู้พื้นผิวด้านนอกของหลอดเตาแต่ละอันมีสายไฟเพียงคู่เดียวเพื่อให้การวัดทางอ้อมของเตาเผา โดยปกติแล้วอุณหภูมิของกระบวนการออกซิเดชั่นจะต่ำกว่ากระบวนการแพร่กระจายดังนั้น K และ N Type Multipoint BF thermocouple สามารถปรับใช้ได้

พารามิเตอร์ทางเทคนิค	เทอร์โมคัปเปิล BF หลายจุดหลัก
พารามิเตอร์ทางเทคนิค	ข้างใน
พิมพ์	K,N
เส้นผ่านศูนย์กลางลวดหรือ MIMS	φ2~4
อุณหภูมิทำงาน (ปริญญา)	0~950
ความแม่นยำ (ปริญญา)	± 1.5 หรือ 0. 4%· T
ความยาวท่อป้องกัน (มม.)	น้อยกว่าหรือเท่ากับ 4000
เส้นผ่านศูนย์กลางท่อป้องกัน (มม.)	φ14~22
วัสดุท่อป้องกัน	310S หรือ 321
โครงสร้างปลายร้อน	มีฉนวน
จำนวนคะแนน	3 ~ 9 คะแนน
การเลิก	ตัวเชื่อมต่อขนาดเล็ก
เงินชดเชย	kx (nx) {{0}} × 0.5fpf
ลักษณะโครงสร้าง	ถอดแยกชิ้นส่วนได้ง่าย t/c สำหรับจุดใด ๆ สามารถลบได้หากจำเป็น